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镍铂合金靶材

时间：2025-05-22浏览数：122

镍铂合金靶材：精密镀膜的关键材料

在真空镀膜领域，镍铂合金靶材凭借其*特的物理化学特性，成为制备高端功能薄膜的核心材料。
这种由镍和铂按特定比例熔炼而成的合金，通过磁控溅射工艺能在基材表面形成致密均匀的薄膜，在半导体、光学器件等领域展现出**的价值。


镍铂合金靶材的制备需要精确控制铂含量在5-20%之间，采用真空感应熔炼结合精密轧制技术。
这种配比使材料兼具镍的延展性和铂的化学稳定性，晶粒尺寸可控制在10微米以下。
在溅射过程中，合金靶材表现出优异的溅射速率稳定性，每小时的沉积速率波动不**过3%，这对保证薄膜厚度一致性至关重要。


实际应用中发现，镍铂合金薄膜的电阻率可低至15μΩ·cm，抗氧化温度高达600℃。
某研究机构测试数据显示，采用这种靶材制备的薄膜在85℃/85%RH环境下经过1000小时老化后，导电性能衰减不足5%。
这些特性使其特别适合制作高可靠性电子元件的导电层，如MLCC电极、触摸屏感应线路等。


值得注意的是，镍铂合金靶材的使用需要配套优化工艺参数。
当溅射功率**过8W/cm²时，薄膜应力会明显增加；而将工作气压控制在0.3-0.5Pa范围内，可获得较佳的膜层附着力。
这些经验参数对保证镀膜质量具有重要指导意义，也是发挥材料性能的关键所在。


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